대형연구시설
나노융합기술원
National Institute for Nanomaterials Technology
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- 설치기관
- 나노융합기술원
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- 구축기간
- 2004~2009년
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- 구축장소
- 경북 포항시 남구 청암로 77
- 시설소개
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- 산업수요가 높은 나노반도체, 디스플레이 분야 연구개발 및 사업과 지원 인프라 구축
- 시설 및 장비의 산학연 공동 활용 및 서비스 지원
- 연구개발, 성능평가, 인증서비스, 특허분쟁해결, 산업화 지원, 전문 인력 양성 등 원스톱 서비스 제공
- 활용분야
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- 차세대 반도체 분야 단위 · 요소 · 일괄공정 기술 개발
- 차세대 디스플레이 분야 OLED, OTFT, Flexible Display, 인쇄전자 기술 개발
- 나노 원천 · 융합소재, 나노단위 3차원 입체분석기술 개발
- 연구개발 · 성능평가 · 인증서비스 · 특허분쟁해결 지원
- 중소기업을 대상으로 나노기술 상용화를 지원함으로써 기존산업의 고부가가치화, 첨단화, 신산업화로 국가 및 지역경제 활성화, 고용창출에 기여
- 핵심어
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- 전력반도체|NEMS|OLED|인쇄전자|Flexible Display
- 대표장비
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- 집속이온빔(Focused Ion Beam/EBSD)
- 구면수차보정 투과전자 현미경(Cs-corrected TEM, 200F)
- 전계방사형투과전자현미경(HR-STEM, 2200FS)
- 3차원원자현미경(3 Dimensional Atom Probe)
- 레이저리소그래피시스템(Laser Lithography System)
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