나노종합기술원

National Nano Fab Center

• 설치기관

  나노종합기술원

• 구축기간

  2002~2012년

• 구축장소

  대전광역시 유성구 대학로 291

시설소개

• 국내 최초 나노인프라 시설(2004.05 구축)로서 국가 나노기술 발전을 위한 장비공동활용 및 연구개발 지원, 전문 인력양성, 산업화 지원에 있어 핵심적인 역할을 수행
• 나노기술의 연구개발에 필요한 고가의 장비 및 시설들을 집적하여, 산학연 연구개발 주체에게 최고수준의 나노기술 연구개발 지원
• 첨단 인프라를 활용한 나노기술 전문 인력양성
• 기업의 나노기술 상용화 및 사업화 지원

활용분야

• 나노공정서비스, 특성평가(시험분석)서비스 제공
• 첨단 나노소자, IoT용 센서, 나노바이오 센서 개발 및 시작품 제작
• 나노기술 공동연구개발(상용화 기술, 양산기술 시작품 제작)
• 나노바이오, NEMS단위 일괄공정 및 특화 선행공정 기술 개발 지원

핵심어

• Nano｜WEMS｜Nano Fab｜Clean room｜Semiconductor

대표장비

• 전자선 리소그래피 시스템(E-Beam Lithography System)
• 감광제 도포 현상 시스템(Krf Scanner)
• 박막증착장비(Oxide Etcher)
• 이온주입장치(Ion Implantation)
• 플라즈마 화학 기상 증착기(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition)