FEEL 전자도서관

주요정보: - 발간(연구)목적
본 매뉴얼은 투과전자현미경(Transmission Electron Microscope, TEM)의 기본 원리와 장비의 구성, 장비의 운영방법을 이해하기 쉽도록 시각자료를 통하여 설명하고, 장비의 관리 방법과 장비의 활용 분야를 제공함으로써 장비 사용에 도움을 주고자 발간됨.

- 주요내용
TEM은 가속전자를 광원으로 사용하며, 전자는 음전하를 띠고 있어서 전자파나 X-선에 비하여 물질과 아주 민감하게 반응하여 강하게 회절되므로 국부적인 원자배열의 이미지 관찰 및 결정학 분석에 적합하며, 전자빔은 전자기 렌즈 등으로 수 Å 이내로 손쉽게 집속 시킬 수 있어서 미소 영역의 구조를 직접 관찰이 가능함.
TEM은 재료 내 결정구조의 변화나 원소 농도구배가 급격한 박막/모재 계면에서의 상호반응, 내부 결함, 상변화 과정 등 재료의 미소분석에 활용되므로 금속, 반도체, 고분자, 세라믹스 및 나노소재 등 재료분야 전반에 걸쳐 형태학적, 결정학적, 화학적 분석을 수행하여 계면 반응 분석, 결함 분석, 상변화과정 이해, 결정성 분석, 불량원인 파악에 활용됨..

목차