한국나노기술원

Korea Advanced Nano Fab Center

• 설치기관

  한국나노기술원

• 구축기간

  2003~2008년

• 구축장소

  경기도 수원시 영통구 광교로 109

시설소개

• 나노소자, 나노바이오, 나노소재 분야 연구개발을 위해 산학연 공동으로 활용할 수 있는 이용자 중심의 개방형 · 자립형 나노팹
• 나노소자 관련 연구시설 장비 지원서비스
• 나노기술 관련 전문 인력의 양성
• 나노소자기술 연구성과 실용화 촉진 및 관련기업 창업지원
• 나노소자 관련 계측 및 검증 지원
• 나노소자 관련 생산장비 개발 지원
• 나노기술의 보급 육성을 위한 사업
• 나노소자기술관련 국내외 교류 협력사업
• 기타 나노소자 연구개발 지원 및 산업화 촉진에 필요한 사업

활용분야

• 나노소자 연구개발 및 생산지원(R&D 파운드리, 서비스)
• 나노소자 분석 및 신뢰성 시험 인증
• 나노공정, 나노소자, 나노바이오, 나노소재 선행기술 개발

핵심어

• 나노｜화합물 반도체｜나노바이오｜나노소자｜클린룸

대표장비

• 전자빔 및 KrF 리소그래피 장비(E-beam and KrF Lithography)
• CVD, PVA 등 박막형성장비
• Deep Si 식각 등 식각장비(Etcher)
• III-V, III-N MOCVD, MBE
• 주사전자투과현미경(Analytic STEM)