진공특성 평가장치

Apparatus for Evaluation of Vacuum Characteristics

• 설치기관

  한국표준과학연구원

• 구축기간

  1999~2008년

• 구축장소

  대전광역시 유성구 가정로 267

시설소개

• 진공 장비 및 부품을 생산하는 중소업체들의 기술 경쟁력 제고
• 진공 특성평가 장비 및 기술의 자체개발을 통해 국제적으로 신뢰성이 인정되는 기술 데이터를 산학연에 제공
• 진공 특성에 대한 기반기술 확보(요소 및 핵심부품)
• 진공 펌프, 부품, 재료, 측정기기 등의 특성평가 및 Data 제공으로 고급 진공 부품장비의 국산화와 해외 진출 촉진
• IT 주력산업에 사용되는 핵심기술이자 NT, ST 등 신기술 개발에 바탕이 되는 진공 원천기술 경쟁력 확보

활용분야

• 반도체, 평판 디스플레이(FPD) 등 정보전자산업, 우주항공, 금속, 소재, 세라믹 등 고기능 재료 개발
• 진공 핵심부품, 시스템 및 공정의 신뢰성을 증대시키기 위하여 진공 특성 평가 시스템 개발
• 반도체, 디스플레이 생산 등에 사용되는 진공펌프 · 계측기 종합성능과 내구성 평가
• 플라즈마, 부분압 등 공정특성 평가

핵심어

• 플라즈마｜증기압｜탈기체｜도달진공도｜특성평가

대표장비

• 플라즈마 증착 장비(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition SystemICP) : 13.56 MHZ, SI 증착
• 증기압 측정장비(Vapor Pressure Measurement Equipment) : 측정 온도범위(0~100 ℃), 측정 압력범위(1x10-3~10 Torr)
• 진공펌프 특성평가(Vacuum Pump Characteristics Evaluation)
• 진공재료 특성평가(Vacuum Material Characteristics Evaluation)
• 진공부품 특성평가(Vacuum Component Characteristics Evaluation) : 측정 압력범위(1 x 10-7~760 Torr), 측정 기밀범위(1x10-11 Torr l/sec)