대형연구시설
나노·광융합센터
Center for Nano-Photonics Convergence Technology
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- 설치기관
- 한국생산기술연구원
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- 구축기간
- 2004~2009년
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- 구축장소
- 광주광역시 북구 첨단과기로 208번길 6
- 시설소개
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- 2004년 차세대 디스플레이 · 반도체 분야 중 나노 공정 및 장비 기술의 연구개발과 산업화지원을 목적으로 광주나노기기술집적센터로 설립(현재 ‘나노 · 광융합센터’로 명칭 변경)
- 기업지원 서비스, 선도기술 개발, 전문 인력양성 등을 통해 “나노비즈니스 지원거점”으로 성장하였으며, 특히 OLED 제조 공정기술, 광융합 분야에서 미세패턴 분석 및 전극 기술을 이용한 광소자 공정기술 등을 확보
- 주요 서비스 분야로 무기박막 증착, 유기박막증착, 식각, 포토패터닝, 박막구조 분석을 실시
- 시설 주요이용자로서 대기업(제일모직, 다우코닝, 두산전자, 삼성, LG 등), 지역특화 광산업 신생기업(PPI, 피큐브, InLC 등), 대학교(조선대학교, 전남대학교, 서강대학교, 서울대학교 등)가 이용
- 활용분야
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- OLED 조명 산업화 지원, Photonic Soc 개발 지원, 나노융합 상용화 기업지원, 반도체/디스플레이 관련 업체 지원
- OLED 조명, 광소자 등 지역 주력산업 상용화 기술, 스마트 윈도우 및 반도체 관련 장비 및 공정기술 지원
- 나노융합 기술 개발 및 전문 인력 양성을 통한 기업지원
- 생산현장 기술 및 현장인력 양성
- 광소자, 디스플레이 소재부품분야 특성화고, 재직자 등 현장인력 양성
- 핵심어
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- 대표장비
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- 디스플레이 패널 제작 장치(Organic Evaporator)
- 스퍼터시스템(Inilne Sputter System)
- 원자층 증착기(Atomic Layer Deposition)
- 집속이온빔장치(Focused Ion Beam System)
- 투과 전자현미경TEM(Transmission Electron Microscope)
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