수퍼 투과 전자현미경

Super TEM and Analytical FIB. Titan and Quanta 3D

• 설치기관

  한국과학기술연구원

• 구축기간

  2009~2009년

• 구축장소

  서울시 성북구 화랑로 14길 5

시설소개

• 원자분해능 수준의 이미징 및 나노영역의 조성 분석이 가능한 투과전자현미경 시설 · 장비구축 · 운영
• NT, BT, IT 분야 전반에 걸쳐 초극미세 영역의 첨단 분석 기술을 제공함으로써 첨단과학의 원천기술 확보에 근거 마련
• 나노 소자, 재료 및 장비 개발에 요구되는 최첨단 극미세 측정/분석을 제공하여 산업체 연구의 상용화 기술 지원
• 차세대 반도체 기반 조성, 반도체 관련 장비 · 재료 등 분석 장비 개발, 인프라 조성 등의 연구 기반 구축

활용분야

• 금속, 반도체, 고분자, 생체재료 뿐만 아니라 CNT, 그래핀 등의 첨단 신소재 특성 분석
• 전자현미경, 초점이온빔 장비를 이용한 반도체 나노영역의 구조, 성분, 응력, 전기적 특성 등 측정 · 분석 지원
• 재료의 미세구조, 화학성분 및 화학적 특성, 기계적 및 전기적 특성 측정 및 분석

핵심어

• 나노재료｜미세구조분석｜TEM｜Cs-correctedSTEM｜EELS

대표장비

• 투과전자현미경(Transmission Electron Microscopy) : 80-300kV, 공간 분해능 0.8Å(probe Cs-corrector 보유)
• 전자 에너지 손실 분광기(Electron Energy Loss Spectroscopy) : 에너지 분해능 0.1 eV(Monochromator 보유)
• 에너지 분산 X-선 분광기(Energy Dispersive X-ray Spectroscopy) : 에너지 분해능 136 eV